本產(chǎn)品為IGBT、SiC等功率半導(dǎo)體器件提供全套功率測(cè)試解決方案,可高效實(shí)現(xiàn)從晶圓級(jí)到最終產(chǎn)品的ISO、DC、AC等全套測(cè)試,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化測(cè)試過(guò)程,并配置豐富的測(cè)試接口和功能模塊選擇,滿足不同器件測(cè)試對(duì)測(cè)試機(jī)的要求。
AC測(cè)試:1500V/4000A,DC測(cè)試:2000V/2000A
接觸可靠性測(cè)試、ISO測(cè)試、DC測(cè)試、AC測(cè)試等
SiC/IGBT 晶圓、芯片、單管、模塊,針對(duì)不同封裝定制測(cè)試治具
全自動(dòng)化測(cè)試過(guò)程,自動(dòng)生成數(shù)據(jù)報(bào)表
<15nH,不含待測(cè)對(duì)象及socket
過(guò)流保護(hù)閾值可設(shè)置,保護(hù)時(shí)間<2us
UPH>200,具體依據(jù)實(shí)際測(cè)試對(duì)象及測(cè)試項(xiàng)目確定
可根據(jù)具體要求對(duì)測(cè)試功能模塊進(jìn)行選擇和測(cè)試流程變更
可根據(jù)不同測(cè)試要求選擇各功能并行或者異步模式運(yùn)行
供電電源電壓220V±10%(單相+PE),50Hz±10%,10kW
測(cè)試對(duì)象SiC/IGBT 晶圓、芯片、單管、模塊
測(cè)試項(xiàng)Kelvin,ISO,SW,SC,Qg,DC,RgCg ,UIS等
AC測(cè)試最大電壓電流1500V,多脈沖 4000A,短路12000A@10us
DC測(cè)試最大電壓電流2000V,2000A
UIS測(cè)試最大電壓電流3000V,200A
RgCg測(cè)試電壓Vds:1500Vmax,Vgs :±40V
AC測(cè)試雜感<15nH,不包含被測(cè)器件及socket
AC測(cè)試過(guò)流保護(hù)<2us
測(cè)試效率UPH>200,具體依據(jù)實(shí)際測(cè)試對(duì)象及測(cè)試項(xiàng)目確定